
年4月3日首次开庭,目前正在审理过程中。近日,公司收到通知,原告埃姆梯尔公司再次基于同一专利包中的另外两项专利向公司提起侵犯发明专利权纠纷诉讼案件。公司经初步评估认为,上述诉讼不会对公司生产经营和财务状况造成重大不利影响。截至本公告披露日,本次公告涉及的两案件尚未开庭审理。
; 与西方竞争对手试图突破现有系统参数(例如从0.55提升至高数值孔径,甚至从0.75提升至超高数值孔径)不同,俄罗斯学派提出改变物理原理。气体团簇光源可以在远低于数十亿美元EUV光刻机的设备上实现。尽管俄罗斯目前缺乏量产型光刻机,但这项技术提供了实现质的飞飞跃—一跳过13.
专利包中的两项专利向公司提起侵犯发明专利权纠纷诉讼案件,公司已于2025年9月20日在《关于收到撤诉裁定暨涉及诉讼的公告》中予以披露,上述两案件已分别于2026年4月2日、2026年4月3日首次开庭,目前正在审理过程中。近日,公司收到通知,原告埃姆梯尔公司再次基于同一专利包中的另外两项专利向公司提起侵犯发明专利权纠纷诉讼案件。公司经初步评估认为,上述诉讼不会对公司生产经营和财务状况造成重大不利影响
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